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日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺(tái)式型

  • 產(chǎn)品型號(hào):SCRD4
  • 更新時(shí)間:2024-08-22

簡(jiǎn)要描述:日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺(tái)式型SCRD4
清洗?干燥裝置是使用不會(huì)產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體,可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會(huì)造成變形或破壞。
用途
1.連采用IPA(異丙醇)干燥都會(huì)受損的、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。
2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。
3.硅氣凝膠那樣具有納米量級(jí)極細(xì)空間的材料制備。
4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺(tái)式型SCRD4

清洗?干燥裝置是使用不會(huì)產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體,可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會(huì)造成變形或破壞。

用途

1.連采用IPA(異丙醇)干燥都會(huì)受損的、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。

2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。

3.硅氣凝膠那樣具有納米量級(jí)極細(xì)空間的材料制備。

4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。

規(guī)格


使用流體CO2
使用壓力14MPa
使用溫度40℃
腔室內(nèi)徑φ110×26mm
安全功能電氣安全裝置、機(jī)械安全裝置、防過熱保護(hù)
控制面板采用觸摸屏進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)程序設(shè)定
外形尺寸(W)600×(D)450×(H)400mm(含手柄)
重量約60kg
電源AC100V 50/60Hz 10A


日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺(tái)式型SCRD4

清洗?干燥裝置是使用不會(huì)產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體,可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會(huì)造成變形或破壞。

用途

1.連采用IPA(異丙醇)干燥都會(huì)受損的、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。

2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。

3.硅氣凝膠那樣具有納米量級(jí)極細(xì)空間的材料制備。

4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。

規(guī)格


使用流體CO2
使用壓力14MPa
使用溫度40℃
腔室內(nèi)徑φ110×26mm
安全功能電氣安全裝置、機(jī)械安全裝置、防過熱保護(hù)
控制面板采用觸摸屏進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)程序設(shè)定
外形尺寸(W)600×(D)450×(H)400mm(含手柄)
重量約60kg
電源AC100V 50/60Hz 10A




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