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technofine原子層沉積(ALD)設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號:TFA-B180
  • 更新時間:2024-07-12

簡要描述:technofine原子層沉積(ALD)設(shè)備TFA-B180
通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,以防腐蝕。
采用ULVAC設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸,實現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

產(chǎn)品詳情
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應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

technofine原子層沉積(ALD)設(shè)備TFA-B180

technofine原子層沉積(ALD)設(shè)備TFA-B180

特點

  • 通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,以防腐蝕。

  • 采用ULVAC設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸,實現(xiàn)高性能的排粉。

  • 從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

用途

  • 半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。

  • 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

  • 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

  • 醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。真空泵用油SMR為了在寒冷時也能發(fā)揮好的起動性能粘度較低。
    為了發(fā)揮出泵的性能,請盡量頻繁地對油進行更換。

  • 結(jié)構(gòu)緊湊,排氣量大。

  • 氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。

  • 豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應(yīng)用需求。

  • 內(nèi)置自動復(fù)位型熱保護器等安全設(shè)計。

  • 大氣壓下可運作。

  • 全壓力范圍可連續(xù)運作。

  • 結(jié)構(gòu)簡單,維護方便。

    • 真空吸盤,真空鑷子。

    • 自動設(shè)備上的吸附和轉(zhuǎn)移。

    • 真空包裝印刷機。

    • 貼片機。

如果在負載運作期間停止泵,然后立即重新啟動,則可能無法重新啟動。
在這種情況下,將泵內(nèi)部恢復(fù)到大氣壓。

2 請不要吸入腐蝕性氣體,有機溶劑,液體和可冷凝氣體(如水蒸氣)。
另外,請確保污垢和灰塵不會進入泵內(nèi)部。

3 泵的滑動材料會在運行過程中磨損,產(chǎn)生磨損粉末。
此外,所使用的滑動材料對抗水性較弱,因此吸入水分則會加速磨損并縮短其壽命。
不要吸入水分和可冷凝氣體(水蒸汽等)。

4 僅供室內(nèi)使用。
請勿安裝在下雨或淹水的地方或室外。

5 將泵固定在設(shè)備等上時,請務(wù)必安裝防振橡膠。
防振橡膠的安裝螺釘尺寸為M5 x P0.8。
另外,安裝在泵側(cè)的防振橡膠螺釘?shù)拈L度不應(yīng)超過10毫米。

























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