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photonic-lattice厚度/折射率測(cè)量橢偏儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):ME 系列
  • 更新時(shí)間:2024-07-11

簡(jiǎn)要描述:photonic-lattice厚度/折射率測(cè)量橢偏儀 ME 系列
這是一款高速映射橢圓儀,可以測(cè)量 φ8″ 晶圓的整個(gè)表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測(cè)量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測(cè)量。

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

photonic-lattice厚度/折射率測(cè)量橢偏儀 ME 系列

photonic-lattice厚度/折射率測(cè)量橢偏儀 ME 系列

這是一款高速映射橢圓儀,可以測(cè)量 φ8″ 晶圓的整個(gè)表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測(cè)量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測(cè)量。
從顯微鏡尺寸到大尺寸(約 50 cm),我們備有與測(cè)量對(duì)象相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品系列

這是一款測(cè)量范圍為 0 至 130 nm 的低相位差設(shè)備,它以 500 萬(wàn)像素的高分辨率高速測(cè)量雙折射/相位差的分布。

一種可以在顯微鏡視野中測(cè)量雙折射的類型。

附帶的顯微鏡可以從奧林巴斯或尼康中選擇。

PA-micro-S 是沒(méi)有顯微鏡的只有測(cè)量頭的產(chǎn)品。

這是一款測(cè)量范圍為 0 至 130 nm 的低相位差設(shè)備,它以 500 萬(wàn)像素的高分辨率高速測(cè)量雙折射/相位差的分布。

它是一種可以在線安裝的類型,光源和測(cè)量臺(tái)可以分開(kāi)。

這是一款測(cè)量范圍為 0 至 130 nm 的低相位差設(shè)備,它以 500 萬(wàn)像素的高分辨率高速測(cè)量雙折射/相位差的分布。

它是一種可以在線安裝的類型,光源和測(cè)量臺(tái)可以分開(kāi)。


photonic-lattice二維雙折射評(píng)價(jià)系統(tǒng)PA-300系列






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