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koenn伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器

  • 產(chǎn)品型號:FlexPro/Micro-Z
  • 更新時(shí)間:2024-07-10

簡要描述:koenn伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器 FlexPro/Micro-Z
Nanomotion Inc. 的超聲波馬達(dá)可以顯著移動(dòng)載物臺并以納米精度定位。
用于半導(dǎo)體設(shè)備真空室中的晶圓傳送和電子顯微鏡的微動(dòng)。
這種超聲波馬達(dá)將稱為元件的突起壓在載物臺上并高速振動(dòng)以移動(dòng)載物臺。請?jiān)囉门c一般電動(dòng)機(jī)不同的結(jié)構(gòu)簡單的執(zhí)行器。

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

koenn伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器 FlexPro/Micro-Z 

koenn伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器 FlexPro/Micro-Z 

Nanomotion Inc. 的超聲波馬達(dá)可以顯著移動(dòng)載物臺并以納米精度定位。
用于半導(dǎo)體設(shè)備真空室中的晶圓傳送和電子顯微鏡的微動(dòng)。
這種超聲波馬達(dá)將稱為元件的突起壓在載物臺上并高速振動(dòng)以移動(dòng)載物臺。請?jiān)囉门c一般電動(dòng)機(jī)不同的結(jié)構(gòu)簡單的執(zhí)行器。も內(nèi)蔵しています。位置制御、荷重制御、圧力制御に適しており、入力段は、3 入力( SIG、FB1、FB2 )加算型となっています。特に FB2 は指令信號とフィードバック信號が同極性の場合に対応する為に、インバータ回路が內(nèi)臓されていす。入力信號は電圧(±10V)と電流(4-20mA)に対応しています。出力段は、定格電流が±100mA までのノズルフラッパ型サーボ弁を直接駆動(dòng)する電流出力となっています。又、電圧入力(±10V)型サーボ弁(直動(dòng)弁、三段型サーボ弁)駆動(dòng)用に電圧出力にも対応しています。

主要規(guī)格

電源DC24V±10%電流0.3A
輸入信號
SIG、FB1、FB2 共用
±10V 電壓輸入阻抗 100kΩ
4 至 20mA 電流輸入阻抗 249Ω

輸出額定值±100mA以下可通過內(nèi)部DIP開關(guān)選擇
或±10V
電流可從5、10、15、20、30、40、50、60、70、80、90、100mA中選擇

環(huán)境溫度、濕度0 至 +50°C,90% RH 或更低無結(jié)露
抖動(dòng)信號
 頻率調(diào)整范圍
 Level調(diào)整范圍

200Hz正弦波
調(diào)節(jié)范圍在額定輸出電流的20%pp以內(nèi)

外形尺寸42W x 184H x 102D(毫米)不包括連接器的突起
大量的0.65公斤






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