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pnpWAFER FOUP 盒傳送裝置

  • 產(chǎn)品型號:112
  • 更新時間:2024-07-10

簡要描述:pnpWAFER FOUP 盒傳送裝置112
G8(長2200mm x 寬2400mm) 液晶玻璃基板制造設(shè)備用開合蓋裝置,具有升降、滑動、翻轉(zhuǎn)功能。

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

pnpWAFER FOUP 盒傳送裝置112

pnpWAFER FOUP 盒傳送裝置112

G8(長2200mm x 寬2400mm) 液晶玻璃基板制造設(shè)備用開合蓋裝置,具有升降、滑動、翻轉(zhuǎn)功能。這是液晶檢查設(shè)備的裝載/卸載裝置。存放在卡盒中的液晶基板,通過直角坐標系(X、Y、Z、Θ軸)的機械手控制,一張一張取出,基板對齊后,輸送至光學系統(tǒng)檢測(缺陷測量)裝置。檢查后,基板返回盒中。基板尺寸對應G3.5 (620mm x 750mm)。液晶面板用玻璃基板搬運夾具。
兼容基板尺寸 G7 (1870mm x 2200mm)。這是在半導體工廠中進行工序間搬運的中間搬入搬出裝置。將 AGV 和 PGV 提供的 FOUP 盒裝載到每個過程和中間儲料器以及從 OHT 站取回的設(shè)備。

(1) 將水分含量控制在極小量(ppb 至 1 位數(shù) ppm)的過程

 ? TK-100 電容式露點計(氧化鋁型),可測量低露點 -100° C (

2) 極微量水分 (ppm) 由

 ? TE-660 露點儀(聚合物型)低露點為

-60

 °C 的過程控制。(鏡面型)露點儀

④ 過程和無塵室需要相對濕度水平控制的

 ? 簡單的 EE060

⑤ 需要大量水分并需要控制恒定水分的過程

 ? 主要在高溫和高濕度下測量 EE33 帶防結(jié)露措施的溫濕度計

氧氣濃度測量

(1) 需要通過氫氣置換

 等去除氧氣的工序? 2001LC 原電池式氧氣濃度

深圳九州工業(yè)品有限公司成立于2016年,坐落于年輕奮進的深圳市,是一家工業(yè)品綜合服務商。主要包括機電設(shè)備、電子產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國內(nèi)貿(mào)易、經(jīng)營進出口等業(yè)務。聯(lián)合國際名品牌搭建工業(yè)品供應鏈,采用與 MRO分銷商結(jié)盟的方式,把零散采購訂單集中處理,流程簡化,提供一站式供應服務。在美國、德國、日本、韓國、中國臺灣建立采購中心,以流的專業(yè)國際采購團隊、技術(shù)顧問、銷售團隊為各種領(lǐng)域提供各類高品質(zhì)的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的整合服務。通過與廠家建立快捷、有效的溝通,和眾多國外生產(chǎn)廠家建立了長久合作伙伴關(guān)系。




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