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日本yako-sangyo 半導(dǎo)體氣體擴(kuò)散器

  • 產(chǎn)品型號(hào):SUS316L
  • 更新時(shí)間:2024-08-30

簡要描述:日本yako-sangyo 半導(dǎo)體氣體擴(kuò)散器SUS316L
氣體擴(kuò)散器是主要防止負(fù)載鎖定室向大氣開放時(shí)晶圓等受到污染、縮短排氣循環(huán)時(shí)間、提高系統(tǒng)吞吐量的擴(kuò)散器。
?元件部分SUS316L
?也可用于高溫應(yīng)用。
?尺寸緊湊,可靠性高,可承受沖擊和振動(dòng)。

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間1-1萬
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

日本yako-sangyo  半導(dǎo)體氣體擴(kuò)散器SUS316L

氣體擴(kuò)散器是主要防止負(fù)載鎖定室向大氣開放時(shí)晶圓等受到污染、縮短排氣循環(huán)時(shí)間、提高系統(tǒng)吞吐量的擴(kuò)散器。

 ?元件部分SUS316L

 ?也可用于高溫應(yīng)用。

 ?尺寸緊湊,可靠性高,可承受沖擊和振動(dòng)。

氣體擴(kuò)散器概述

1.流量范圍廣,從 6 到 300 SLPM。

2.與高純度半導(dǎo)體氣體兼容。

3.3 納米顆粒過濾功能可保持高流動(dòng)效率,同時(shí)最大限度地減少壓降。

4.5Ra 電解拋光表面可防止內(nèi)部污染。

5.為了滿足半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn),我們?cè)谟萌ルx子水清洗后用高溫氮?dú)膺M(jìn)行烘烤。

日本yako-sangyo  半導(dǎo)體氣體擴(kuò)散器SUS316L

氣體擴(kuò)散器是主要防止負(fù)載鎖定室向大氣開放時(shí)晶圓等受到污染、縮短排氣循環(huán)時(shí)間、提高系統(tǒng)吞吐量的擴(kuò)散器。

 ?元件部分SUS316L

 ?也可用于高溫應(yīng)用。

 ?尺寸緊湊,可靠性高,可承受沖擊和振動(dòng)。

氣體擴(kuò)散器概述

1.流量范圍廣,從 6 到 300 SLPM。

2.與高純度半導(dǎo)體氣體兼容。

3.3 納米顆粒過濾功能可保持高流動(dòng)效率,同時(shí)最大限度地減少壓降。

4.5Ra 電解拋光表面可防止內(nèi)部污染。

5.為了滿足半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn),我們?cè)谟萌ルx子水清洗后用高溫氮?dú)膺M(jìn)行烘烤。

日本yako-sangyo  半導(dǎo)體氣體擴(kuò)散器


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