micro-epsilon/共焦的 Dt 真空兼容傳感器特征？

更新時(shí)間：2023-10-31

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共焦位移傳感器、距離、位置和厚度

共焦的 Dt精確測(cè)量的理想

共焦色散測(cè)量系統(tǒng)用于快速距離和厚度測(cè)量。不同的傳感器模型和控制器接口打開了通用的應(yīng)用領(lǐng)域,例如。,在半導(dǎo)體工業(yè)、玻璃工業(yè)、醫(yī)藥工程和塑料生產(chǎn).

特征

高分辨率和測(cè)量率的距離和厚度測(cè)量
理想的自動(dòng)化和生產(chǎn)控制
幾乎表面獨(dú)立,也適用于鏡子和玻璃表面
極小且恒定的點(diǎn)位尺寸

納米分辨率
具有理想信噪比的工業(yè)級(jí)控制器
被動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)

展示模型概述

在幾乎所有類型的表面上進(jìn)行高精度位移和距離測(cè)量

共焦色度測(cè)量原理使高精度位移和距離測(cè)量,即使在漫反射表面。由于測(cè)量點(diǎn)尺寸小,可以檢測(cè)到很小的物體。軸向光束路徑避免了陰影效應(yīng),使測(cè)量即使在袖子和凹。采用90°的版本,可以測(cè)量孔內(nèi)和凹處的幾何特征。

傳感器校準(zhǔn)的可調(diào)節(jié)安裝適配器

為了達(dá)到最大的精度,共焦傳感器必須盡可能與測(cè)量對(duì)象垂直?？烧{(diào)整的安裝適配器被用來化地將所有的共聚焦點(diǎn)傳感器與目標(biāo)相匹配。您還可以在機(jī)器安裝后對(duì)傳感器進(jìn)行調(diào)整.工業(yè)適配器允許在X和Y-AX中的位移,以及將傳感器傾斜到測(cè)量對(duì)象。

新:可調(diào)整的雙向厚度測(cè)量安裝適配器

JMA厚度由兩個(gè)可調(diào)安裝適配器組成,并支持在雙面厚度測(cè)量傳感器的校準(zhǔn)。這意味著測(cè)量點(diǎn)可以在光軸上設(shè)置絕對(duì)一致,從而確?？煽康暮穸葴y(cè)量的最高精度。jma厚是理想的一體化的機(jī)器和生產(chǎn)工廠。預(yù)組裝的安裝板允許快速和容易的安裝。

透明材料的單向厚度測(cè)量

共焦色度測(cè)量原理使透明材料(如玻璃)的厚度測(cè)量成為可能。厚度值僅用一個(gè)傳感器來檢測(cè)千分尺的精度?？刂破魈峁┮粋€(gè)可編輯、可擴(kuò)展的材料數(shù)據(jù)庫。具體的物質(zhì)參數(shù),如折射率,可以適應(yīng)使用網(wǎng)絡(luò)接口。多峰測(cè)量能夠?qū)Χ噙_(dá)6個(gè)峰進(jìn)行評(píng)價(jià),這就是如何測(cè)量層壓玻璃等多層物體。

真空應(yīng)用

共焦度傳感器由被動(dòng)元件組成,不產(chǎn)生熱量。特別是在真空應(yīng)用中使用,微型EPELIN提供的傳感器,電纜和配件適合各自的規(guī)格(清潔室,真空超高真空超高壓)。真空兼容傳感器目前的測(cè)量范圍為2.5毫米、3毫米、10毫米和28毫米。IFS2246-2,5傳感器具有軸向或徑向光束路徑。

動(dòng)態(tài)測(cè)量任務(wù)的高測(cè)量率

由于測(cè)量率高,必須使暴露量適應(yīng)各自的表面。因此,該控制器動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)CCD線的曝光。這種曝光控制補(bǔ)償了測(cè)量對(duì)象的顏色和反射率的變化,以提高高測(cè)量率的測(cè)量精度。

超小光斑檢測(cè)細(xì)節(jié)和結(jié)構(gòu)

來自微型愛皮隆的共焦傳感器由于其高數(shù)值孔徑(NA)而產(chǎn)生最小的光點(diǎn)<3歐皮姆。因此細(xì)節(jié)和結(jié)構(gòu)可以可靠地檢測(cè)出來。

極大傾斜角

共對(duì)焦度傳感器能承受高達(dá)48度的大傾斜角。因此,可可靠地檢測(cè)到彎曲和結(jié)構(gòu)化的表面,以生成穩(wěn)定的信號(hào)。

高分辨率和高速控制器

該控制器提供了一個(gè)優(yōu)秀的信噪比,使測(cè)量高精度。它們是快的控制器之一,經(jīng)常用于動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)任務(wù)?？焖俦砻嫜a(bǔ)償調(diào)節(jié)曝光周期,以實(shí)現(xiàn)高的信號(hào)穩(wěn)定性,這特別有利于測(cè)量具有不同反射特性的表面。接口為RS422,以太網(wǎng)或以太貓和模擬。